1.當FIB 在 I-BEAM 故障的時候，不影響SEM功能的情況下，會在儀器設備公告可以預約SEM的使用。
2.同學一樣依照貴重儀器預約方式進行預約，不需額外收費。
【注意事項】
SEM限制使用之材料：
1.磁性材料(含鐵、鈷、鎳成分)。
2.有機物、高分子、粉末等材料。
3.所有在電子束照射下會分解或釋出高揮發性物質或氣體之材料。
4.因為FIB場域沒有研磨機,需要研磨的樣品需要自行處理。
5.FIB有提供鍍金機,委託時如有需求會進行鍍金。

【收費方式】

1.計畫定價

非計畫定價：