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儀器管理委員：蘇俊榮 教授
(TEL：03-5712121-54261)
(Mail：thhou@nycu.edu.tw)
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儀器資訊:
1.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓120實驗室 (TEL：55609)
3.服務對象:不使用黃光曝光機之相關同學
4.包含儀器如下 (請點選儀器參看規格):
(1).HMDS 真空烤箱
(2).破片光阻塗佈機
(3).軟硬烤盤
5.儀器可使用之特殊製程材料
注意事項:
1.預約使用以一個小時為一時段。
2.具該項儀器設備使用者其製程預約時間每日最多一個時段，不得重複預約。
3.預約取消：因突發狀況，導致無法於預約時段內操作該項儀器設備者，應以預約24小時之前取消預約登記，未取消者按原來時段計算收費，原時段得由儀器設備管理人員開放出來給其他使用者操作使用之，而原預約使用者須接受處罰，其罰則另定之。
4.預約登記使用未準時到者，視同預約未取，其時段得由其他使用者使用之。
5.委託製作者，請先與儀器設備管理人員聯絡。
自行操作儀器:
2.取得儀器使用權限說明:
4.有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
(1).國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
(2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
委託操作儀器:
1.有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載光阻製程委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
2.無國科會計畫者，請直接下載光阻製程委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
2.只上光阻：每片500元 ( 4″ 與 破片 依樣收費 )。
3.代工需要對第二道時 ( 申請者須到場陪同,方便確認對準位置,避免爭議 )。
4.收費方式:
(1).自行操作:貴儀收費
(2).委託操作:貴儀收費+代工費
5.費用如下表:
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
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實收代工費 (元/片)
(不須對第二道mask) (3片以內)
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900 | 900 | 900 |
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實收代工費 (元/片)
(須對第二道mask) (3片以內)
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1400 | 1400 | 1400 |
| 貴儀收費 (元/時) | 1200 | 1200 | 1400 |
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流程為:HMDS -> Coater -> Soft Bake -> Expose -> Developer -> Hard Bake(依需求) [不含wafer 與 晶片提供 ]
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申訴電話:
1.徐忠璇小姐 TEL：03-5712121轉31534、31248，03-5131534 (Mail：jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐 TEL：03-5712121轉31775，03-5731775 (Mail：cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話： TEL：03-6116690