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儀器管理委員：蘇俊榮 教授
(TEL：03-5712121-54193)
(Mail：hclin@nycu.edu.tw)
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儀器資訊:
1.廠牌型號: Canon Stepper FPA-2000i1
2.購置年限: 2025年3月
3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓135實驗室 (TEL：55616)
4.功能:各種元件之對準曝光
5.重要規格:
(1).Mask holder：5″x5″
(2).Chuck：6“
(3).Exposure size：6″/4″/25*25mm破片
(4).Light source：1500W
(5).汞燈光源：UV365nm
6.儀器可使用之特殊製程材料
注意事項:
1.預約使用以一個小時為一時段。
2.具該項儀器設備使用者其製程預約時間每日最多一個時段，不得重複預約
3.預約取消：因突發狀況，導致無法於預約時段內操作該項儀器設備者，應以預約24小時之前取消預約登記，未取消者按原來時段計算收費，原時段得由儀器設備管理人員開放出來給其他使用者操作使用之，而原預約使用者須接受處罰，其罰則另定之。
4.預約登記使用未準時到者，視同預約未取，其時段得由其他使用者使用之。
5.委託製作者，請先與儀器設備管理人員聯絡。
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(4).I-Line步進式曝光機操作規範&考核記錄表&光罩Aligner key 建議位置圖
3.有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
(1).台灣半導體中心晶片驅動全台半導體資源共享平台 (取得序號)
(2).台灣半導體中心晶片驅動全台半導體資源共享平台(使用時段預約)
委託操作儀器:(目前尚未開放代工)
1.若非標準矽晶圓或其他材必須區分正反面者，需在申請表上或晶片上標註正反面及註明欲進行製程的表面，未標明或不提供確認資訊者恕不收件。
2.有國科會計畫者，請先至台灣半導體中心晶片驅動全台半導體資源共享平台預約並取得預約編號，再下載I-Line steeper曝光機委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
3.無國科會計畫者，請直接下載I-Line steeper曝光機委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.TSRI核可項目，有台灣半導體中心TSRI帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
2.只上光阻：每片500元( 4″ 與 破片 依樣收費 )。
3.自行操作是以晶創計畫收費,委託代工會收取代工費
4.收費方式:
(1).自行操作:晶創計畫收費
(2).委託操作:委託代工費
5.費用如下表:
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
| 貴儀收費 (元/時) | 12,000(200元/分) | 12,000(200元/分) | 12,000(200元/分) |
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委託代工費 (元/時)
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12,000(250元/分) | 15,000(250元/分) | 27,500 |
| 代工執行的黃光製程 : HMDS–>上光阻–>軟烤–>曝光–>顯影–>硬烤(依需求) | |||
申訴電話:
1.林垣先生 TEL：03-5712121(Mail：haruga@nycu.edu.tw )