更新時間: 2020/12/16 毒化物相關表單: 1.5%氫氣與氮氣混合氣 2.二氯矽烷SiH2Cl2 3.甲烷 4.氧氣 5.六氟化硫 6.一氧化氮 7.乙烯(Ethylene, C2H4) 8.八氟環丁烷C4F8-SDS 9.三氟甲烷-CHF3 10.三氯化硼BCL3-SDS 11.四氟化碳CF4-SDS 12.四氫化矽SiH4-SDS 13.昭和氯氣-109 14.氨氣NH3-SDS-20200105 15.液氬Ar(L)_R5 (洪瑞華老師實驗室專用) 16.氬氣AR-SDS-20200105 17.氮氣N2-SDS-20200105 18.溴化氫-HBr 19.一氧化二氮 20.氯氣CL2 21.四氯化矽-SiCl4 22.NH3-氨氣