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儀器管理委員：蘇俊榮 教授
(TEL：03-5712121-54261)
(TEL：thhou@nycu.edu.tw)
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儀器資訊:
1.廠牌型號: Synrex 擎邦 1-PM101D-R790
2.購置年限: 1992年12月16日
3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓120實驗室 (TEL：55609)
4.功能:矽上光阻
5.重要規格:
(1).可分二段轉速控制
(2).可分二段時間控制
(3).旋轉速度可達7500rpm
注意事項: 本儀器為雙面光罩對準曝光機(Double Side Mask Aligner)之附屬儀器，故無法單獨申請自行操作。