儀器設備管理人員：范秀蘭  小姐 (TEL：03-5712121-55337 / 55672) (Mail：shiulan@nycu.edu.tw) 儀器管理委員：譚至善  教授 (TEL：03-5712121-54146) (Mail：cstan@nycu.edu.tw)

儀器資訊:

1.廠牌型號: Hitachi S-4700I

2.購置年限: 1998年10月

3.放置地點: 電子資訊研究大樓 7 樓 710實驗室  (TEL：55676) 

4.功能:電子顯微鏡觀察(SEM)：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構

5.重要規格:

(1).電子源：冷陰極電子槍

(2).操作電壓：0.5kV~30kV

(3).試片尺寸：25mm diameter x 10mm(t)

(4).解析度：15A° (at 15kV) or 25A° (at 1kV)

(5).放大倍率50萬倍 (依試片本身而定)

(6).二次電子解析度1.5nm (15kV下)

6.儀器可使用之特殊製程材料

自行操作儀器:

1.取得儀器使用權限說明:

(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)

(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)

(3).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)

(4).SEM4700儀器操作規範&考核記錄表

2.儀器開放等級及人數。

3.有儀器使用權限後，需登入奈米中心儀器預約系統 預約使用

委託操作儀器:請直接與儀器管理人員范秀蘭小姐((Mail：shiulan@nycu.edu.tw))聯繫協助排程代工。

收費資訊:

1.請自備導電膠帶。

2.校內單位自行操作月累計超過9小時收費減半。

3.費用如下表:

自行操作	學術單位 (限交大通过考核者)	廠商及研究單位
SEM(元/小時)	100	不開放
樣品表面鍍膜(元/分)	500
EDS(元/片)	已故障停用

委託操作	學術單位 (校外)	學術單位 (校內)	廠商及研究單位
代工費 (元/3小時)	900	900	900
SEM(元/小時)	1000	100	2000
樣品表面鍍膜(元/分)	500	500	800
EDS(元/片)	已故障停用