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儀器管理委員： 連德軒 教授
(TEL：03-5712121-54137)
(Mail：dhlien@nctu.edu.tw)
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儀器資訊:
1.廠牌型號: VTI E/B GUN COATER
2.購置年限: 1994年4月
3.放置地點: 固態電子系統大樓 2樓 222 實驗室 (TEL：54183)
4.功能:薄膜蒸鍍 (限半導體製程常用之材料)
5.重要規格:
(1).EB gun Model EGK-3M*2.5kw EB power
(2).Cryo pump Torr -6
(3).基板大小：3″、4″
自行操作儀器: 取得儀器使用權限說明如下
1.交大電子教學實驗室申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
2.24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
委託操作儀器:請直接下載電子系-Gun-Coater委託代工單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給儀器管理人員許智鈞先生(分機:55618 / Mail: markshu@nycu.edu.tw)協助排程代工。
收費資訊:
1.材料費另計，一次滿載可放置4吋或3吋晶片 4 片。
2.費用如下表:
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
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代工費 (元/次)
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900 | 900 | 900 |
| 開機費 (元/次) | 5000 | 6000 | 7000 |
| 材料費 (元/KA) | Ti=600 / Cr=600 / Al=600 / Au=10000 |
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