儀器設備管理人員：趙建允 先生
(TEL：03-5712121-55670 / 55667)
儀器管理委員：蘇俊榮教授
(TEL：03-5712121-54261)
儀器資訊:
1.廠牌型號: 科毅科技AG1000-4D-D-S-M-V
2.購置年限: 2011年11月 
3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓137實驗室   (TEL：55616)
4.功能:各種元件之對準曝光
5.重要規格:
(1).Mask holder：4″x4″ , 5″x5″
(2).Chuck：4″
(3).Exposure size：4″
(4).Light source：1000W
(5).汞燈光源：NUV
6.儀器可使用之特殊製程材料
注意事項:
1.預約使用以一個小時為一時段。
2.具該項儀器設備使用者其製程預約時間每日最多一個時段，不得重複預約
3.預約取消：因突發狀況，導致無法於預約時段內操作該項儀器設備者，應以預約24小時之前取消預約登記，未取消者按原來時段計算收費，原時段得由儀器設備管理人員開放出來給其他使用 者操作使用之，而原預約使用者須接受處罰，其罰則另定之。
4.預約登記使用未準時到者，視同預約未取，其時段得由其他使用者使用之。
5.委託製作者，請先與儀器設備管理人員聯絡。
自行操作儀器:
1.申請此機台需同時加考光阻塗佈機、真空烤箱、光學顯微鏡
2.取得儀器使用權限說明:
(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
(3).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
4.有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
(2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
委託操作儀器:
1. 若非標準矽晶圓或其他材必須區分正反面者，需在申請表上或晶片上標註正反面及註明欲進行製程的表面，未標明或不提供確認資訊者恕不收件。
2.有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載雙面光罩對準曝光機委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
3.無國科會計畫者，請直接下載雙面光罩對準曝光機委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
2.只上光阻：每片500元( 4″ 與 破片 依樣收費 )。
3.代工需要對第二道時 ( 申請者須到場陪同,方便確認對準位置,避免爭議 )。
4.自行操作是以貴儀收費,委託代工會收取代工費與貴儀收費 (兩者)
5.收費方式:
(1).自行操作:貴儀收費
(2).委託操作:貴儀收費+代工費
6.費用如下表:
(1).計畫定價:
 學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費 (元/3片以內)
(不須對第二道mask)
 1000 1000 1000
代工費 (元/3片以內)
(須對第二道mask) 
 1500 1500 1500
貴儀收費 (元/時) 155 155 175
代工執行的黃光製程 : HMDS–>上光阻–>軟烤–>曝光–>顯影–>硬烤(依需求)
(2).非計畫定價: 
 學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費 (元/3片以內)
(不須對第二道mask)
 1000 1000 1000
代工費 (元/3片以內)
(須對第二道mask) 
 1500 1500 1500
貴儀收費 (元/時) 1245 1460 1730
代工執行的黃光製程 : HMDS–>上光阻–>軟烤–>曝光–>顯影–>硬烤(依需求)
申訴電話:
1.徐忠璇小姐   TEL：03-5712121轉31534、31248，03-5131534 (Mail：jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐  TEL：03-5712121轉31775，03-5731775 (Mail：cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話： TEL：03-6116690