儀器設備管理人員：林聖欽 先生
(TEL：03-5712121-55668、55608) 
儀器管理委員：鄭裕庭  教授 
(TEL：03-5712121-54169)
儀器資訊:
1.廠牌型號: 日本ULVAC EBX-10C
2.購置年限: 1993年5月
3.放置地點: 固態電子系統大樓 3 樓實驗室   (TEL：55608) 
4.功能:可用於多層薄膜蒸鍍（限半導體製程常用之材料）
5.重要規格:
(1).EB gun Model EGK-3M*2.5kw EB power 2台
(2).抽氣系統：RP + Cryo pump U-10 pu(2300 L/S N2)，最低壓力2*10¯6Torr
(3).基板大小：4吋晶片18片或 6吋晶片3片+ 4吋6片
6.儀器可使用之特殊製程材料。
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
(3).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
(4).E-Gun (A)儀器操作規範&考核記錄表
3.有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
(2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
委託操作儀器:
1.有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載E-Gun (A)委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
2.無國科會計畫者，請直接下載E-Gun (A)委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
2.材料費另計:
(1).一次滿載可放置4吋或3吋晶片18片，或6吋3片加4吋或3吋6片。
(2).自備 Pt 請準備純度 99.99% 之顆粒，全新適用ULVAC機台用3cc之石墨坩鍋，至少填九成滿。自備材料者，因操作過程所造成任何之坩鍋及材料的損耗，本中心不予負責。
(3).Pt 每RUN厚度上限50nm 。
3.收費方式:
(1).自行操作:收取開機費+材料費
(2).委託操作:收取開機費+材料費+代工費
4.費用如下表:
(1).計畫定價: ※貴重金屬之時價以國際現貨價格為參考訂定。
 學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費 (元/次)
 900 900 900
開機費 (元/次)  550 770 770
材料費  (元/KA) Ni=55  /  Si=55  /  Co=65  /  W=65   /  SiO2=65  /  Mo=65  /  Ti=75  /    Ge=75  /  Cr=75 /  Si3N4=95/Cu=45   /  Ta=105  /   Pt=時價  /   Pd=時價 /Au=時價 
(2).非計畫定價:  ※貴重金屬之時價以國際現貨價格為參考訂定。
 學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費 (元/次)
 900 900 900
開機費 (元/次)  1100 7700 7700
材料費  (元/KA)
(學校單位):
Ni=110  /  Si=110  /  Co=130  /  W=130   /  SiO2=130  /  Mo=130  /  Ti=150  /    Ge=150  /  Cr=150  /  Si3N4=190 /Cu=85 / Ta=210  /   Pt=時價  /   Pd=時價 /Au=時價
(研究/營利事業單位): 
Ni=500  /  Si=500  /  Co=600  /  W=600   /  SiO2=600  /  Mo=600  /  Ti=700  /    Ge=700  /  Cr=700  /  Si3N4=900    /  Ta=1000  /   Pt=時價  /   Pd=時價  /  Au=時價
申訴電話:
1.徐忠璇小姐   TEL：03-5712121轉31534、31248，03-5131534 (Mail：jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐  TEL：03-5712121轉31775，03-5731775 (Mail：cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話： TEL：03-6116690