儀器中文：三維輪廓及表面粗度量測儀
儀器英文：3D profile and surface roughness measurement instrument
儀器所屬教授：徐文祥教授
實驗室連絡電話： 55149
儀器資訊:
1.廠牌型號: Kosaka Laboratory Ltd. , ET-4000
2.購置年限:2001年12月
3.放置地點: 博愛校區奈米中心2樓215室  (TEL:55682)
4.功能:晶片表面輪廓以及粗糙度量測
5.重要規格:
(1).適用晶片：8吋以下
(2).Z方向量測範圍：±50μm
(3).Z方向解析度：0.1nm
(4).測定力：0.05~50mgf
(5).觸針半徑：0.5μm