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儀器中文：蒸鍍機
儀器英文：Evaporator
儀器所屬教授：孟心飛教授
實驗室連絡電話： 56223
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儀器資訊:
1.廠牌型號: ULVAC
2.購置年限:2005年5月1日
3.放置地點: 博愛校區奈米中心2樓212室 (TEL:55680)
4.功能:蒸鍍金屬與有機材料
5.重要規格:
(1).在ψ4 inch基板上做前處理及蒸鍍有機分子
(2).前處理室到達1.3X10-3Pa(5X10-6Torr)30分鐘
(3).有機蒸鍍室室到達1.3X10-3Pa(5X10-6Torr)30分鐘