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儀器管理委員：吳耀銓 教授
(TEL：03-5712121-31555)
(Mail：sermonwu@nycu.edu.tw)
儀器管理委員：崔秉鉞 教授
(TEL：03-5712121-31570)
(Mail：bytsui@nycu.edu.tw)
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儀器資訊:
1.廠牌型號: TESCAN GAIA3
2.購置年限: 2017年12月18日
3.放置地點:工六館 213室 (TEL：55368)
4.功能:
(1).穿透式電子顯微鏡試 Ex-situ TEM試片製備
(2).奈米結構製程：微奈米級特定圖形製作
(3).剖面試片製作：定點剖面切割與SEM觀察
(4).金屬和氧化層的沉積：提供白金、SiOx沉積
(5).特殊晶面結構(金屬)觀察：SIM(scanning ion microscopy)用來分析特殊晶面結構(金屬)以觀察不同晶面之對比
(6).元素成分之定性及半定量之分析
5.重要規格:
(1).電子源：場發射式
(2).離子源：Ga液態金屬離子源
(3).加速電壓：電子束—200V~30kV、離子束—500V~30kV
(4).影像解析度：SEM—1.5nm at 15kV、FIB—2.5nm at 30kV
(5).工作距離：5mm
(6).試片規格：直徑(10mm dia ) x 高度(<0.50cm)
(7).放大倍率SEM: 4x~1Mx、FIB: 150x~1Mx
(8).GIS、 Pt、SiOx
6.儀器可使用之特殊製程材料
注意事項:
- 限制使用FIB機台之材料：
- 磁性材料
- 合金材料含有磁性材料高於5%者(請檢附EDS證明)
- 低熔點材料(小於230℃)
- 有機、高分子、粉末等電子束照射下會分解或釋出氣體材料
- 生物試片
- 使用者必需詳細說明試片之製作方式，若有可能造成真空腔污染，本單位有權拒絕受理。預約者請在實驗三天前填妥FIB委託代工申請單(請註明各層材料結構及厚度、基板及樣品尺寸)，並以電子郵件傳檔予工程師審核，於實驗當天攜帶過來。
- 若因試片處理不當造成機台損壞或污染，須負賠償責任。賠償費用由原廠評估並經管理委員會決議後執行。
- TEM試片製作其樣品直徑約5-10mm，高度需小於5mm為較合適的尺寸(建議高度為2mm)。試片表面必須平整，不可局部起伏過大。若為特殊尺寸，應事先與管理者聯繫確認是否適合進行實驗。
- 分析測試時若發現樣品不符合規定，樣品將被退回並照其預約之時段付費。
- 半導體、導電性不佳及絕緣體試片需先鍍導電膜(金或鉑較佳)，現場鍍膜需依規定收費。
- TEM試片製作請自備銅網或其他耗材，實驗時間為一個時段三小時（主要為試片製作時間)，Ex-situ TEM試片需每片保留0.5小時以利挑取試片，若未預留時間挑取試片，時間結束後請自行處理。Ex-situ TEM試片由委託者及助教共同合作，使用OM放置試片於自備銅網上。因試片材質會影響玻璃針吸附效果，若未能成功放置銅網，不另補作。其他相關耗材計費方式請參考下表。。
- 委託操作預約：貴儀系統預約限制為：每位計畫主持人每月限預約二次。機台開放預約時間為每月25日上午九時，預約次月實驗。實驗時間預約後若需取消，請於五天前自行登錄貴儀系統取消，否則仍需扣款。
- 自行操作預約：每月25日上午九時起，預約次月1日~15日實驗；當月10日上午九時起，預約當月16日~月底實驗，每人每梯次限預約一次。需在二天前取消預約：於二天前取消，則不予扣款；若未於二天前取消，但該時段有人能替補使用，則不予扣款；若未於二天前取消，且該時段無人能替補使用，則需收費。
- 無故預約不到，自動扣該次時段；遲到超過十五分鐘，扣預約時段並取消服務。
- 預約時段如遇國定假日、新竹市停班停課、機台故障維護或耗材更換，時段以取消處理，不另補做。
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(1).申請方式
(4).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
3.有儀器使用權限後，需登入下列系統預約時段使用:
(1).國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 (取得序號)
(2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
委託操作儀器:
- 有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約時段，請在實驗三天前填妥FIB委託代工申請單，並以電子郵件傳檔予技術人員審核，於實驗當天攜帶過來。
- 無國科會計畫者，請直接下載FIB委託代工申請單，並在實驗三天前填FIB委託代工申請單，並以電子郵件傳檔予技術人員審核，於實驗當天攜帶過來。
收費資訊:
1.貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
2.請自備空白CD片。
3.費用如下表:
(1).計畫定價: (研究和營利事業單位皆為委託操作)
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
| 自行操作(元/時) | 420 | 420 | 420 |
| 委託操作(元/時) | 630 | 630 | 630 |
| EDS(元/時) |
75 | 75 | 75 |
| 耗材費 (元/個) | 銅網=130 / 金網=180 / Lacey=230 / 半月型銅網=230 / 半月型鉬網=670 / 鍍Pt(超過0.1%)=230 / 鍍SiO2(超過0.1hr)=210 / OP Probe tip=1370 / 鍍金機(每分鐘)=75 | ||
(2).非計畫定價: (研究和營利事業單位皆為委託操作)
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
| 自行操作(元/時) | 850 | 7800 | 7800 |
| 委託操作(元/時) | 1300 | 9500 | 9500 |
| EDS(元/時) |
140 | 140 | 140 |
| 耗材費 (元/個) | 銅網=130 / 金網=180 / Lacey=230 / 半月型銅網=230/ 半月型鉬網=670/ 鍍Pt(超過0.1%)=230 / 鍍SiO2(超過0.1hr)=210 / OP Probe tip=1370 / 鍍金機(每分鐘)=70 | ||
申訴電話:
1.徐忠璇小姐 TEL：03-5712121轉31534、31248，03-5131534 (Mail：jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐 TEL：03-5712121轉31775，03-5731775 (Mail：cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話： TEL：03-6116690