儀器設備管理人員：倪月珍 小姐
(TEL：03-5712121-55669、55608)
儀器管理委員：鄭裕庭  教授
 (TEL：03-5712121-54169)
儀器資訊:
1.廠牌型號: 日本ULVAC EBX-6D
2.購置年限: 1995年1月
3.放置地點: 固態電子系統大樓 3 樓實驗室   (TEL：55608) 
4.功能:薄膜蒸鍍(主要用於鋁金屬之蒸鍍)
5.重要規格:
(1).抽氣系統：RP+擴散幫浦，最低壓力2.0E–6 Torr
(2).基板大小：4吋晶片8片 或 6吋晶片5片
(3).鍍膜均勻性：±5%以內 (4吋基板)
6.儀器可使用之特殊製程材料。
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
(3).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
(4).Thermal Coater儀器操作規範&考核記錄表
3.有儀器使用權限後，需登入下列系統取得序號並預約使用:
(2).奈米中心儀器預約系統  (使用時段預約)
委託操作儀器:
1.有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載Thermal Coater委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
2.無國科會計畫者，請直接下載Thermal Coater委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
2.材料費另計 (依鍍膜厚度及材料之不同需要) 4吋8片   6吋5片。
3.不可鍍銅(Cu)、金(Au)等污染性材料。
4.收費方式:
(1).自行操作:收取開機費+材料費
(2).委託操作:收取開機費+材料費+代工費
3.費用如下表:
(1).計畫定價:
 學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費 (元/次)
 900 900 900
開機費 (元/次)  455 570 570
材料費 (元/KA) 5KA 以下 115 115 115
材料費 (元/KA) 5KA 以上至10KA 230 230 230
(2).非計畫定價: 
 學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費 (元/次)
 900 900 900
開機費 (元/次)  910 5700 5700
材料費 (元/KA) 5KA 以下 230 1100 1100
材料費 (元/KA) 5KA 以上至10KA 460 2200 2200
申訴電話:
1.徐忠璇小姐   TEL：03-5712121轉31534、31248，03-5131534 (Mail：jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐  TEL：03-5712121轉31775，03-5731775 (Mail：cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話： TEL：03-6116690