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儀器中文：熱蒸鍍機
儀器英文：Thermal Coater
儀器所屬教授：韋光華教授
實驗室連絡電話： 31771
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儀器資訊:
1.廠牌型號: ULVAC
2.購置年限:2006年
3.放置地點: 博愛奈米中心二樓211實驗室 (TEL:55662)
4.功能:利用加熱方式蒸鍍需要之材料
5.重要規格:
A.真空腔體
(1).腔體大小約：400 * 400* 550 mm
(2).內含基板ψ2 inch基板4枚，附shutter mode window
(3).以公轉方式旋轉基板其尺寸為2 inch基板。基板旋轉需要可以調整速度
(4).腔體可加熱至200℃，控制用SCR PID控制
(5).內面電解拋光，腔體外面水冷pipe
(6).Manual front open/close chamber door
(7).Spare 1 port for buffer tank connection in glove box
(8).Coating protection shieldings
B.主排氣系統為機械pump及cryo pump組合而成
(1).Cryo-Pump with compressor (至少達4,000 l/s for H2O(g) )
(2).Tow-stages rotary pump (至少達600 l/min at 60Hz)
C.石英振盪片監控監即時控膜厚。其務差控制在5000Å ≦± 20﹪以下
D.控制系統，系統為自動排氣、自動鍍膜