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儀器設備管理人員:賴玟言 先生
(TEL:03-5712121-55606、55616)
(Mail:white@nycu.edu.tw)
儀器管理委員:崔秉鉞 教授
(TEL:03-5712121-31570)
(Mail:bytsui@nycu.edu.tw )
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儀器資訊:
1.廠牌型號: 佳佑儀器
2.購置年限: 2014年11月06日
3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓 141實驗室 (TEL:55616)
4.功能: 晶片(矽或III-V)之RCA清洗(含每個清洗步驟,如煮酸、蝕刻、沖水等項)
5.重要規格:
(1).有機清洗1台
(2).無機清洗3台
(3).晶片旋乾機(4″)2台
(4).注水鵝頸龍頭、DI水槍、氮氣槍、煮酸加熱板
6.儀器可使用之特殊製程材料
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
(3).注意事項 (務必詳讀,以免損失自身權益)
3.有儀器使用權限後,使用時都需填寫使用記錄表登記。
收費資訊:
1.依據『溼式工作台使用收費管理辦法』所規定,非本校學生使用溼式工作台,需填寫使用記錄表並收取500元/次費用。
2.收費方式:
(1).自行操作:收取Clean費用
(2).委託操作:收取Clean費用+代工費
3.費用如下表:
學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
代工費(元/次) | 900 | 900 | 900 |
RCA Cleaning (3″& 4″(1次)) | 1800 | 1800 | 2000 |
Initial H2SO4 (3″& 4″(1次)) | 700 | 700 | 800 |
Etching poly | 500 | 500 | 500 |
Etching Al | 500 | 500 | 500 |
BOE Etching | 300 | 300 | 300 |
HF Dip & Rinse | 100 | 100 | 100 |
ACE 3″(600c.c)&4″(1200c.c) | 500 | 500 | 600 |
申訴電話:
1.徐忠璇小姐 TEL:03-5712121轉31534、31248,03-5131534 (Mail:jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐 TEL:03-5712121轉31775,03-5731775 (Mail:cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話: TEL:03-6116690