儀器設備管理人員：賴玟言 先生
(TEL：03-5712121-55606、55616)
儀器管理委員：崔秉鉞  教授
(TEL：03-5712121-31570) 
儀器資訊:
1.廠牌型號: 佳佑儀器
2.購置年限: 2014年11月06日
3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓 141實驗室　(TEL：55616) 
4.功能: 晶片(矽或III-V)之RCA清洗(含每個清洗步驟，如煮酸、蝕刻、沖水等項)
5.重要規格: 
(1).有機清洗1台
(2).無機清洗3台
(3).晶片旋乾機(4″)2台
(4).注水鵝頸龍頭、DI水槍、氮氣槍、煮酸加熱板
6.儀器可使用之特殊製程材料
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
(3).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
3.有儀器使用權限後，使用時都需填寫使用記錄表登記。
委託操作儀器:請直接下載Wetbench委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.依據『溼式工作台使用收費管理辦法』所規定，非本校學生使用溼式工作台，需填寫使用記錄表並收取500元/次費用。
2.收費方式:
(1).自行操作:收取Clean費用
(2).委託操作:收取Clean費用+代工費
3.費用如下表:
學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費(元/次) 900 900 900
RCA Cleaning (3″& 4″(1次)) 1800 1800 2000
Initial H2SO4 (3″& 4″(1次)) 700 700 800
Etching poly 500 500 500
Etching Al 500 500 500
BOE Etching 300 300 300
HF Dip & Rinse 100 100 100
ACE   3″(600c.c)&4″(1200c.c) 500 500 600 
申訴電話:
1.徐忠璇小姐   TEL：03-5712121轉31534、31248，03-5131534 (Mail：jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐  TEL：03-5712121轉31775，03-5731775 (Mail：cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話： TEL：03-6116690