52年 首創我國第一間電晶體實驗室(張俊彥先生建立)
53年
製成我國第一顆點觸式電晶體
張瑞夫博士在交大建立我國第一座半導體實驗室于研究工廠內,即在目前博愛校區實驗二館
54年
張瑞夫博士帶領郭雙發先生、張俊彥先生等人製成全國第一批矽平面雙極性電晶體,用於收音機
凌宏璋教授帶領張俊彥、郭雙發等人製成全國第一枚金氧半場效電晶體及積體電路(線性放大器)
54年 張俊彥  主任 成立半導體中心 (第一代)
55年 張俊彥  主任 報紙大幅報導交大電晶體製作技術新、成本低、國外爭聘交大學生
59年 張俊彥  主任 中華民國第一位工學博士(張俊彥博士)誕生
60年 胡定華 主任
63年 吳慶源 主任
66年 吳慶源 主任 半導體中心納入教育部正式編制,博愛校區新半導體中心大樓(第二代)落成並遷入,執行國科會國家電子大型研究計畫
68年 吳慶源 主任 半導體中心納入教育部正式編制,博愛校區新半導體中心大樓(第二代)落成並遷入,執行國科會國家電子大型研究計畫
69年 李崇仁 主任 吳重雨 副主任  
70年 李崇仁 主任 吳重雨 副主任 成立國科會半導体貴重儀器使用中心
72年 李崇仁 主任 吳重雨 副主任  
73年 雷添福 主任 黃遠東 副主任  
74年 雷添福 主任 蘇    翔 副主任 舉辦第一次「半導體貴重儀器儀中心研討會
75年 李建平 主任 蘇    翔 副主任  
78年 李建平 主任 蘇    翔 副主任 本中心負責規劃科會毫微米元件實驗室之空間,並開始興建光復校區固態電子系統大樓半導體中心 (第三代)
79年 蘇 翔 主任    
80年 蘇 翔 主任 黃遠東 副主任  
81年 蘇 翔 主任 黃遠東 副主任 光復校區固態電子系統大樓落成,半導體中心與國家毫微米元件實驗室遷入 ,電子系半導體實驗室遷入二樓
84年 鄭晃忠 主任 黃遠東 副主任 半導體中心與交通大學各系所研發之成果發表在國際上重要期刊IEEE ED與IEEE EDL之論文數為世界之冠
85年 鄭晃忠 主任 黃遠東 副主任 交大百週年校慶,半導體中心製程能力可達小於1微米元件之能力
86年 鄭晃忠 主任 葉清發 副主任 舊半導體中心大樓重建規畫,並擬以1微米元件製程發展光電、功率元件、平面顯示器、微機電等實廣應用領域為研究目標,與 NDL之深次微米元件之研究導向,區分特色並相輔相成
87年 鄭晃忠 主任 葉清發 副主任 半導體中心推動半導體設備本土化,扶植國內設備學者,開發新材料及新製程之設備製造能力,包含高密度電漿鐵電材料化學氣相沉積及金屬蝕刻機台
88年 鄭晃忠 主任 葉清發 副主任 進行博愛校區半導體中心重建工程
89年 鄭晃忠 主任 葉清發 副主任 半導體中心與CE&A合作成立VANS.TAIWAN LAB
90年 黃遠東 主任 葉清發 副主任 完成博愛校區半導體中心潔淨室重建並運轉建立「平面顯示器」與「微光機電」重點實驗室,並提供微機電實驗課程使用
91年 黃遠東 主任 葉清發 副主任 於博愛校區半導體中心建立「奈米」重點實驗室,並於「微光機電」重點實驗室區建立「基因晶片」實驗室,提供基因晶片製作之教學與研究使用
92年 黃遠東 主任   92年2月本中心正式定名為國立交通大學奈米中心英文名稱為Nano Facility Center(簡稱NFC)
93年 黃遠東 主任 崔秉鉞 副主任 國家奈米元件實驗室(原毫微米元件實驗室)搬遷至緊鄰之奈米電子研究大樓,與奈米中心保持密切合作
94年 黃遠東 主任 崔秉鉞 副主任 奈米科技中心進駐光復校區固態電子系統大樓之一樓與二樓
95年 黃遠東 主任 崔秉鉞 副主任 平面顯示器實驗室進駐光復校區固態電子系統大樓三樓
96年 崔秉鉞 主任 林鴻志 副主任 陸續購置聚焦離子束系統、雷射圖形產生系統、原子層沈積系統,引進步進曝光機、多腔體蝕刻系統等精密儀器設備
97年 崔秉鉞 主任 林鴻志 副主任  
100年 崔秉鉞 主任 林鴻志 副主任 陸續完成空調效能改善、設備操作規範更新、發光二極體照明等節能工程
101年 林鴻志 主任 博愛校區單電子槍蒸鍍機搬遷至光復校區,並擴增為雙電子槍
102年 林鴻志 主任   建立線上工安課程報名系統電子化
104年
林鴻志 主任   陸續完成空調效能改善、設備操作規範更新、發光二極體照明等節能工程
105年 李佩雯 主任   建立使用者申請個人專用無塵衣置物櫃
106年 李佩雯 主任  
建立各機台刷卡機及門禁軟體系統整合。並提供使用者線上預約機台服務
完成OHSAS180001&CNS15506(台灣職業全衛生管理系統)認證(代表交大)
107年 李佩雯 主任  
完成奈米中心機台及門禁軟體第二階段改善工程(機台進駐、營繕、移出、化學藥品氣體攜入存放、特殊製程申請…等表單之線上簽核)
完成參觀申請表單電子化
108年 林鴻志 主任  
陸續完成空調效能改善、貴儀儀器設備汰舊換新工程
109年 林鴻志 主任  
持續進行貴儀儀器設備汰舊換新工程
110年 林鴻志 主任  
110年2月本中心配合學校更名為國立陽明交通大學奈米中心英文名稱為National Yang Ming Chiao Tung University Nano Facility Center
111年 林鴻志 主任