| 52年 | 首創我國第一間電晶體實驗室(張俊彥先生建立) | ||
| 53年 |
製成我國第一顆點觸式電晶體
張瑞夫博士在交大建立我國第一座半導體實驗室于研究工廠內，即在目前博愛校區實驗二館
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| 54年 |
張瑞夫博士帶領郭雙發先生、張俊彥先生等人製成全國第一批矽平面雙極性電晶體，用於收音機
凌宏璋教授帶領張俊彥、郭雙發等人製成全國第一枚金氧半場效電晶體及積體電路(線性放大器)
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| 54年 | 張俊彥 主任 | 成立半導體中心 (第一代) | |
| 55年 | 張俊彥 主任 | 報紙大幅報導交大電晶體製作技術新、成本低、國外爭聘交大學生 | |
| 59年 | 張俊彥 主任 | 中華民國第一位工學博士(張俊彥博士)誕生 | |
| 60年 | 胡定華 主任 | ||
| 63年 | 吳慶源 主任 | ||
| 66年 | 吳慶源 主任 | 半導體中心納入教育部正式編制，博愛校區新半導體中心大樓(第二代)落成並遷入，執行國科會國家電子大型研究計畫 | |
| 68年 | 吳慶源 主任 | 半導體中心納入教育部正式編制，博愛校區新半導體中心大樓(第二代)落成並遷入，執行國科會國家電子大型研究計畫 | |
| 69年 | 李崇仁 主任 | 吳重雨 副主任 | |
| 70年 | 李崇仁 主任 | 吳重雨 副主任 | 成立國科會半導体貴重儀器使用中心 |
| 72年 | 李崇仁 主任 | 吳重雨 副主任 | |
| 73年 | 雷添福 主任 | 黃遠東 副主任 | |
| 74年 | 雷添福 主任 | 蘇 翔 副主任 | 舉辦第一次「半導體貴重儀器儀中心研討會」 |
| 75年 | 李建平 主任 | 蘇 翔 副主任 | |
| 78年 | 李建平 主任 | 蘇 翔 副主任 | 本中心負責規劃科會毫微米元件實驗室之空間，並開始興建光復校區固態電子系統大樓半導體中心 (第三代) |
| 79年 | 蘇 翔 主任 | ||
| 80年 | 蘇 翔 主任 | 黃遠東 副主任 | |
| 81年 | 蘇 翔 主任 | 黃遠東 副主任 | 光復校區固態電子系統大樓落成，半導體中心與國家毫微米元件實驗室遷入 ，電子系半導體實驗室遷入二樓 |
| 84年 | 鄭晃忠 主任 | 黃遠東 副主任 | 半導體中心與交通大學各系所研發之成果發表在國際上重要期刊IEEE ED與IEEE EDL之論文數為世界之冠 |
| 85年 | 鄭晃忠 主任 | 黃遠東 副主任 | 交大百週年校慶，半導體中心製程能力可達小於1微米元件之能力 |
| 86年 | 鄭晃忠 主任 | 葉清發 副主任 | 舊半導體中心大樓重建規畫，並擬以1微米元件製程發展光電、功率元件、平面顯示器、微機電等實廣應用領域為研究目標，與 NDL之深次微米元件之研究導向，區分特色並相輔相成 |
| 87年 | 鄭晃忠 主任 | 葉清發 副主任 | 半導體中心推動半導體設備本土化，扶植國內設備學者，開發新材料及新製程之設備製造能力，包含高密度電漿鐵電材料化學氣相沉積及金屬蝕刻機台 |
| 88年 | 鄭晃忠 主任 | 葉清發 副主任 | 進行博愛校區半導體中心重建工程 |
| 89年 | 鄭晃忠 主任 | 葉清發 副主任 | 半導體中心與CE&A合作成立VANS．TAIWAN LAB |
| 90年 | 黃遠東 主任 | 葉清發 副主任 | 完成博愛校區半導體中心潔淨室重建並運轉，建立「平面顯示器」與「微光機電」重點實驗室，並提供微機電實驗課程使用 |
| 91年 | 黃遠東 主任 | 葉清發 副主任 | 於博愛校區半導體中心建立「奈米」重點實驗室，並於「微光機電」重點實驗室區建立「基因晶片」實驗室，提供基因晶片製作之教學與研究使用 |
| 92年 | 黃遠東 主任 | 92年2月本中心正式定名為「國立交通大學奈米中心」英文名稱為「Nano Facility Center」(簡稱NFC) | |
| 93年 | 黃遠東 主任 | 崔秉鉞 副主任 | 國家奈米元件實驗室(原毫微米元件實驗室)搬遷至緊鄰之奈米電子研究大樓，與奈米中心保持密切合作 |
| 94年 | 黃遠東 主任 | 崔秉鉞 副主任 | 奈米科技中心進駐光復校區固態電子系統大樓之一樓與二樓 |
| 95年 | 黃遠東 主任 | 崔秉鉞 副主任 | 平面顯示器實驗室進駐光復校區固態電子系統大樓三樓 |
| 96年 | 崔秉鉞 主任 | 林鴻志 副主任 | 陸續購置聚焦離子束系統、雷射圖形產生系統、原子層沈積系統，引進步進曝光機、多腔體蝕刻系統等精密儀器設備 |
| 97年 | 崔秉鉞 主任 | 林鴻志 副主任 | |
| 100年 | 崔秉鉞 主任 | 林鴻志 副主任 | 陸續完成空調效能改善、設備操作規範更新、發光二極體照明等節能工程 |
| 101年 | 林鴻志 主任 | 博愛校區單電子槍蒸鍍機搬遷至光復校區，並擴增為雙電子槍 | |
| 102年 | 林鴻志 主任 | 建立線上工安課程報名系統電子化 | |
| 104年 |
林鴻志 主任 | 陸續完成空調效能改善、設備操作規範更新、發光二極體照明等節能工程 | |
| 105年 | 李佩雯 主任 | 建立使用者申請個人專用無塵衣置物櫃 | |
| 106年 | 李佩雯 主任 |
建立各機台刷卡機及門禁軟體系統整合。並提供使用者線上預約機台服務
完成OHSAS180001＆CNS15506(台灣職業全衛生管理系統)認證(代表交大)
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| 107年 | 李佩雯 主任 |
完成奈米中心機台及門禁軟體第二階段改善工程(機台進駐、營繕、移出、化學藥品氣體攜入存放、特殊製程申請…等表單之線上簽核)
完成參觀申請表單電子化
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| 108年 | 林鴻志 主任 |
陸續完成空調效能改善、貴儀儀器設備汰舊換新工程
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| 109年 | 林鴻志 主任 |
持續進行貴儀儀器設備汰舊換新工程
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| 110年 | 林鴻志 主任 |
110年2月本中心配合學校更名為「國立陽明交通大學奈米中心」英文名稱為「National Yang Ming Chiao Tung University Nano Facility Center」
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| 111年 | 林鴻志 主任 |
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