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儀器管理委員：崔秉鉞 教授
(TEL：03-5712121-31570)
(Mail：bytsui@nycu.edu.tw)
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儀器資訊:
1.廠牌型號: 法國SOPRA GES5
2.購置年限: 2003年11月
3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓 116 實驗室 (TEL：55666)
4.功能:量測二氧化矽、複晶矽、氮化矽等可透光薄膜， 待測試片大小從破片至八吋晶圓
5.重要規格:
(1).可變入射波長 (210 nm ~ 900 nm)，可變入射角（0 ~ 90度，需另外申請)
(2).解析度 – 0.04 nm at 313 nm; 波長精確度 – 0.04 nm at 313 nm
(3).全電腦控制
(4).2 or 3 materials mixture 2或3種混合材料分析
(5).Complex or periodic multi-layers structures 複合或週期性多層膜材料
(6).Isotropic or anisotropic layers 等向性或非等向性薄膜
(7).Alloys modeling for compound semiconductors 化合物半導體的合金模型建立
(8).Simulation of optical dispersion laws (over 25 mathematical models)光學發散律的模擬
(9).Gradient concentration profiles 濃度梯度分佈
(10).Interface roughness modeling 介面粗糙度模型建立
6.儀器可使用之特殊製程材料
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
(3).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
3.有儀器使用權限後，需登入奈米中心儀器預約系統預約使用
委託操作儀器:請直接下載橢圓測試儀委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給儀器設備管理人員協助排程代工。
收費資訊如下表:
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
| 自行操作(元/小時) | 1000 | 1000 | 1000 |
| 委託操作(元/小時) | 1800 | 2400 | 3000 |