1.無法自行操儀器作者,可由下列2種方式委託代工:
(1).有國科會計畫者,請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號,再下載下列委託代工申請單,將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人協助排程代工。
(2).無國科會計畫者,請直接下載下列委託代工申請單,將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人協助排程代工。
2.委託代工之費用可於儀器設備介紹中查詢,即有費用說明。
機台委託代工申請單委託代工申請單儀器管理人
1濕式工作台 (Wet Bench)Word fileODF file 賴玟言
2全光譜反射式膜厚量測儀 (Reflectometer)Word fileODF file 賴玟言
3低壓化學氣相沉積系統 (LPCVD)Word fileODF file 賴玟言
4圖形產生系統 (Pattern Generator)Word fileODF file 蔡慶祥
5雷射光罩製作系統 (Laser Pattern Generator, DWL-200)Word fileODF file柯明毅/蔡慶祥
6雙面光罩對準曝光機 (Double Side Mask Aligner)Word fileODF file趙建允
7負光阻顯影定影機&光阻塗佈機Word fileODF file趙建允
8探針式輪廓儀 (Dektak XT)Word fileODF file趙建允
9複晶矽活性離子蝕刻系統 (Poly-Si RIE)Word fileODF file 胡進章/李正維
10介電薄膜活性離子蝕刻系統 (RIE)Word fileODF file 胡進章/李正維
11高密度活性離子蝕刻系統 (HDP-RIE)Word fileODF file 胡進章/李正維
12電漿輔助化學氣相沉積系統 (PECVD)Word fileODF file賴玟言
13原子層化學氣相沉積系統 (ALD)Word fileODF file詹佳期
14橢圓測試儀 (Ellipsometer)Word fileODF file詹佳期
15氧化擴散系統 (Oxidation & Diffusion Furnaces )Word fileODF file倪月珍
16雙電子槍蒸鍍系統A (Dual E-Gun Evaporation System A)Word fileODF file倪月珍
17雙電子槍蒸鍍系統B (Dual E-Gun Evaporation System B)Word fileODF file倪月珍
18高真空鍍膜系統 (High Vacuum Deposition System)Word fileODF file倪月珍
19熱阻絲蒸鍍系統 (Thermal Evaporation Coater) Word fileODF file倪月珍
20真空濺鍍系統 (Sputtering System)ODF file黃國華
21四點探針 (4-point Probe)Word fileODF file黃國華
22聚焦離子束與電子束顯微系統 (FIB)Word fileODF file趙建允
23冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器 (SEM SU-8010)Word fileODF file范秀蘭