儀器設備管理人員：張鎮顯  先生  (TEL：03-5712121-55657、55608) (Mail：hsien@nycu.edu.tw) 儀器管理委員：林鴻志  教授   (TEL：03-5712121-54193) (Mail：hclin@nycu.edu.tw)

儀器資訊:

1.廠牌型號: JANDEL  RM3000

2.購置年限: 2013年

3.放置地點: 固態電子系統大樓 3樓實驗室   (TEL：55666) 

4.功能:測試半導體層、雜質擴散層或離子佈植層的電阻值6吋

5.重要規格:量測範圍從 1mili-ohm/square 到 5 x 10⁸ ohm/square (sheet resistance); 或電阻率從1 mili-ohm.cm to 10⁸ ohm.cm (bulk resistivity)

6.儀器可使用之特殊製程材料

注意事項:本設備不開放單獨考核,如需使用本設備,請找儀器設備管理人員。

自行操作儀器:

1.取得儀器使用權限說明:

(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)

(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)

(3).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)

(4).有儀器使用權限後，使用時都需填寫使用記錄表登記。

2.儀器開放等級及人數。

3.有儀器使用權限後，使用時都需填寫使用記錄表登記。

委託操作儀器:請直接下載四點探針委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給儀器設備管理人員協助排程代工。

收費資訊如下表:

	學校單位	研究單位	營利事業單位
開機費 (元)	100	130	150
每片	20	70	90