儀器設備管理人員:詹佳期先生
(TEL:03-5712121-55622、55616) 
儀器管理委員:趙天生 教授
 (TEL:03-5712121-31367)
儀器資訊:
1.廠牌型號: Cambridge NanoTech Fiji-202 DCS
2.購置年限: 2009
3.放置地點: 固態電子系統大樓 1樓 129實驗室 (TEL:55616) 
4.功能:沉積Al2O3HfO2TiN、ZrO2TiO2、SiO2薄膜
5.重要規格:
(1).可使用晶圓尺寸:破片至8
(2).雙腔體:Chamber A-前段介電層薄膜沉積,Chamber B-後段介電層和金屬薄膜沉積
(3).可進行熱沉積(thermal deposition)及電漿輔助沉積(plasma-enhanced deposition)
(4).使用氣體:ArN2O2NH3H2CF4
6.儀器可使用之特殊製程材料
注意事項:
1.使用Chamber A之試片不得含有金屬薄膜或經過後段製程,並且沉積前須先進RCA clean。
2.請詳細說明基板晶片材質及其上含何種物質。
3.Chamber A可進基板材質:SiGe
4.Chamber B可進基板材質:SiGeSapphireIII-V、無鹼玻璃。
5.每件委託代工申請單以3run6個小時製程時間為限。
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
(3).注意事項 (務必詳讀,以免損失自身權益)
3.有儀器使用權限後,需登入下列系統取得序號並預約使用:
(2).奈米中心儀器預約系統 (使用時段預約)
委託操作儀器:
1.有國科會計畫者,請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號,再下載ALD委託代工申請單,將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
2.無國科會計畫者,請直接下載ALD委託代工申請單,將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.貴儀核可項目,有貴儀帳號者請上網預約,無貴儀帳號者請現金付費。
2.不足一小時以一小時計算。
3.Clean之費用詳見Wet_Bench收費表。
4.收費方式:
(1).自行操作:收取製作費+材料
(2).委託操作:收取製作+材料+代工費
5.費用如下表:
(1).計畫定價:
學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費(元/ 3個run或6個小時) 900 900 900
使用費 (元/時) 355 355 355
材料費 (元/10cycle) Al: 41   Hf: 53   Ti: 53  Zr: 53 Si: 46
(2).非計畫定價
學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費(元/ 3個run或6個小時) 900 900 900
使用費 (元/時) 711 5923 5923
材料費 (元/10cycle)
(學校單位) Al: 83  Hf: 106   Ti: 106  Zr: 106 Si: 92
(研究單位/營利事業單位) Al: 414 Hf: 529  Ti: 529  Zr: 529 Si: 460
申訴電話:
1.徐忠璇小姐   TEL:03-5712121轉31534、31248,03-5131534 (Mail:jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐  TEL:03-5712121轉31775,03-5731775 (Mail:cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話: TEL:03-6116690