儀器中文：厚膜光阻塗佈機
儀器英文：Spin coater for thick photoresist
儀器所屬教授：徐文祥教授
實驗室連絡電話： 55149
儀器資訊:
1.廠牌型號: 德國Karl Suss  RC-8
2.購置年限:1998年5月26日
3.放置地點: 博愛校區奈米中心2樓218室  (TEL:55679)
4.功能:厚膜光阻之塗佈
5.重要規格:
(1).可多段轉速、時間控制
(2).本機台僅供厚膜光阻塗佈用
(3).本機台僅提供4吋晶片使用
(4).金屬上蓋開啟時的最高轉速為1000rpm
(5).金屬上蓋蓋上時的最高轉速為5000rpm
(6).允許的最大加速度（ACCN）：3000rpm/s