儀器設備管理人員：賴玟言  先生  
(TEL：03-5712121-55606  /  55616)
儀器管理委員：趙天生  教授 
(TEL：03-5712121-31367)
儀器資訊:
1.廠牌型號: 里華SR-SEMI_RTC11001U
2.購置年限: 2015年11月
3.放置地點: 固態電子系統大樓1樓R135實驗室  (TEL：55609) 
4.功能:量測SiO2、Si3N4、Poly-Si、TEOS等可透光薄膜，待測試片大小從破片至6吋
5.重要規格:
(1).在同一膜層中，可模擬2種不同的材料混合比例
(2).可模擬膜面之不均勻粗糙現象
(3).可量測三層膜
(4).內建資料庫提供約100組折射率n及消光系數k值
(5).可設立多種不同型態座標
(6).進行多點全自動量測
(7).由十字標校正確保反射率標準片與待測樣品的工作距離一致
(8).軟體可選擇Operator mode及Engineer mode
(9).可由網路遠端系統操作.教學.演練
6.儀器可使用之特殊製程材料。
自行操作儀器:
1.取得儀器使用權限說明:
(1).白天權限申請流程說明 (使用權限為星期一至五8:00~17:00)
(2).24小時申請流程說明 (需有白天權限才可申請)
(3).注意事項 (務必詳讀，以免損失自身權益)
(4).Reflectometer儀器操作規範&考核記錄表
3.有儀器使用權限後，需登入奈米中心儀器預約系統預約使用
委託操作儀器:請直接下載Reflectometer委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給儀器設備管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.收費方式:
(1).自行操作:收取開機費+其他
(2).委託操作:收取開機費+其他+代工費
2.費用如下表:
 學校單位 研究單位 營利事業單位
代工費 (元/次)
 900 900 900
開機費 (元/次)  600 850 1000
每片五點內 150 360 500
每超過一點加
 120 180 250