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儀器設備管理人員：柯明毅 先生
(TEL：03-5712121-55659、55609、55667)
(Mail：mingyi@nycu.edu.tw)
儀器管理委員：李佩雯 教授(TEL：03-5712121-54210 )
(Mail：pwli@nycu.edu.tw)
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儀器資訊:
1.廠牌型號: HIMT DWL-200
2.購置年限: 2007年4月
3.放置地點: 固態電子系統大樓 10級R 139實驗室 (TEL：55616)
4.功能:玻璃光罩之製造(4”、5”及6”), 5吋石英光罩(電洽)
5.重要規格:
(1).雷射光源442nm(g-line) Helium _Cadmium LASER Power 125mW
(2).Minimum feature size is .80um
(3).最大有效區域 200mm x 200mmdeposition)
(4).GDSII 及 Auto CAD 之 *. dxf 檔
(5).Dual CCD camera alignment system
6.儀器可使用之特殊製程材料。
注意事項: 光罩製作說明
委託操作儀器:
1.有國科會計畫者，請先至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約並取得預約編號，再下載DWL-200委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
2.無國科會計畫者，請直接下載DWL-200委託代工申請單，將填寫好之申請單及材料送至本中心(本校固態電子系統大樓2F)給各儀器管理人員協助排程代工。
收費資訊:
1.貴儀核可項目，有貴儀帳號者請上網預約，無貴儀帳號者請現金付費。
2.費用如下表:
(1).計畫定價:
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
| 圖檔處理費 (元/時、片) | 100 | 100 | 1700元起~
依個案報價 |
| 現場看圖費 (元/時、片) | 100 | 100 | |
| 4″玻璃 (元) | 1300 | 1300 | |
| 5″玻璃 (元) | 1500 | 1500 | |
| 6“玻璃 (元) | 1950 | 1950 | |
| 其他非標準大小者，原則上以面積比例計價 |
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(2).非計畫定價:
| 學校單位 | 研究單位 | 營利事業單位 | |
| 圖檔處理費 (元/時、片) | 1000 | 1000 | 18000元起~
依個案報價 |
| 現場看圖費 (元/時、片) | 1000 | 1000 | |
| 4″玻璃 (元) | 12000 | 14700 | |
| 5″玻璃 (元) | 13500 | 15800 | |
| 6“玻璃 (元) | 18000 | 20300 | |
| 其他非標準大小者，原則上以面積比例計價 |
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申訴電話:
1.徐忠璇小姐 TEL：03-5712121轉31534、31248，03-5131534 (Mail：jsshiu1207@nycu.edu.tw )
2.賴卓君小姐 TEL：03-5712121轉31775，03-5731775 (Mail：cclai0225@nycu.edu.tw)
3.專線電話： TEL：03-6116690