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儀器中文：光罩對準曝光機
儀器英文：Mask Aligner
儀器所屬教授：徐文祥教授
實驗室連絡電話： 55149
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儀器資訊:
1.廠牌型號: 日本共和理研 K-310P-100S
2.購置年限:2002年8月1日
3.放置地點: 博愛校區奈米中心2樓218室 (TEL:55679)
4.功能:光罩對準及曝光
5.重要規格:
(1).適用光罩尺寸: 5”
(2).適用晶片尺寸: 4”
(3).曝光源型號ML-251A/B (by USHIO)，250W超高壓水銀燈，主波長365nm
(4).解析度: 1um
(5).電源供應器: HB-25103BY-C (by USHIO)
(6).顯微鏡: NIKON