儀器區域：固態電子系統大樓219R、220R、221R、222R潔淨室  ※此區域限陽明交通大學電子所才可申請，且本流程依據陽明交通大學電子所規定辦理※

電子教學實驗室內機台如下:

濕式工作台(Wet Bench)、黃光室設備(考核含光阻塗佈機、光罩對準曝 光機、加熱器、顯影清洗)、高溫爐管系統、電子鎗蒸鍍系統(E-Gun)、薄膜測厚儀(alpha stepper)、光學薄膜測厚儀、真空濺鍍系統(Sputter)、 PECVD(PD240)、 PECVD(Lee)、LPCVD(Lee) (申請使用高溫爐管系統以及LPCVD(Lee)者，需先通過教學實驗室內Wet Bench使用資格，才可以申請)

※電子教學實驗管理人:紀智良先生(分機:55618 / Mail: g01341@nycu.edu.tw)※
※每部機台需先完成周一至周五8:00~17:00門禁使用權限後，才可申請24小時(包含假日)門禁使用權限※

※務必詳讀儀器申請注意事項及公告，以免損失自身權益，造成無法順利完成申請※

周一至周五8:00~17:00門禁使用權限申請流程如下:
一.儀器訓練申請:
(2).登入儀器管理系統完成線上註冊
(3).如已有奈米中心儀器使用權限者，只需登入儀器管理系統下載列印『非奈米中心儀器操作訓練申請表』(此申請表之儀器設備管理人、訓練員、檢定員請找紀智良先生(分機:55618 / Mail: g01341@nycu.edu.tw)核章)，表單簽核完成後至固態電子系統大樓二樓找何小姐辦理即可。
(4).無奈米中心儀器使用權限者，請登入儀器管理系統下載列印繳交下列資料，表單簽核完成後至固態電子系統大樓二樓找何小姐辦理。
◎基本資料表 (請張貼清楚的照片)
◎非奈米中心儀器操作訓練申請表  (此申請表之儀器設備管理人、訓練員、檢定員請找紀智良先生(分機:55618 / Mail: g01341@nycu.edu.tw)核章)
◎使用規則同意書
◎學生證 or 職員證 or 學歷證件影本以及身份證明文件影印本 (文件內容須有職稱及聘雇日期) or 業界廠商與交大有合作計畫之證明文件(內容須註明合作期限)

◎「半導體相關實驗課程」證書 or 半導體實驗成績單影本 or 操作機台或工廠相關實驗經驗相關證明 or 具有實驗經驗並曾做過之相關論文、專題相關證明(需經過單位主管簽名背書，證明申請人具無塵室操作經驗，以及需附上工作之在職證明文件或離職證明文件)

二.設定門禁設備權限
1.請於考核完3天後(不含假日)至固態電子系統大樓2F找何小姐詢問考核結果，通過者，即可設定門禁及設備使用權限。
2.要設定第二部機台使用權限者(不是初次申請者)，會於收到考核通過申請表3天(不含假日)後開啟權限。
3.若您為初次申請儀器設備使用權限者，需請攜帶學生證或是有自己照片的悠遊卡親臨奈米中心找何小姐辦理磁卡設定:
◎開卡方式: 
(1).校內人員 (學生/教授/職員):請攜帶學生證 or 職員證+300元(無塵室基本使用費)
(2).校外人員 (下列方式2選1): 
※請攜300元(門禁卡押金)+1,000元(無塵室基本使用費)※
※請攜有自己照片的悠遊卡+1,000元(無塵室基本使用費)※
◎退卡方式: 請找NFC陳小姐辦理，有退還門禁磁卡者，會退回押金300元。