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儀器中文：二號系統–熱阻式蒸鍍系統+手套箱
儀器英文：hermal Evaporator + Glove Box
儀器所屬教授：孟心飛教授
實驗室連絡電話： 56225
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儀器資訊:
1.廠牌型號: 熱阻式蒸鍍系統 : 俊尚 / 手套箱 : 藝漣
2.購置年限:2008年
3.放置地點: 博愛奈米中心1樓114實驗室 (TEL：55683)
4.功能:光阻曝光之使用在ITO玻璃驅動線路製程
5.重要規格:
(1).熱阻式蒸鍍系統:
(a).可在70mm × 70mm以下基板上蒸鍍金屬、有機材料。
(b).蒸鍍室到達5 ×10-6 Torr 約30分鐘
(2).手套箱:
(a).水氧分析儀可移動式
(b).提供spin coater
(c).本系統提供UV封裝設備
開放方法:
1.需具備有交通大學博愛校區奈米中心門禁資格
2.每週開放服務時間為週一早上8:00至下午5:00，共計一天
3.每預約時段為4小時(8:00~12:00與13:00~17:00)。經考核後均可開放預約並自行操作
4.系統開放予博士班或碩士班學生，同時提出研究使用計畫及材料特性予本單位，由本單位評並決定是否接受新訓練申請案，每實驗室以兩人為限
5.新訓人員累積訓練次數達3次以上者方可向機台負責人申請考核。考核通過者可於開放時間內進行預約並自行操作
6.考核通過者有訓練新訓人員之義務
7.考核通過者若連續 3個月無自行操作紀錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請、訓練、考核。
8.若機台出現參數異常，請立即通報管理員，切勿自行處理
申請表格: 實驗申請單
服務辦法:
1.熱阻式蒸鍍系統:
(1).每週一早上8:00至下午5:00開放
(2).欲申請者請參照「二號、三號系統標準預約流程」，為避免預約時段衝突，請列出三個預約時段志願，並於欲預約實驗前一週週二13:00至17:00進行預約，於週三上午10:00始可確認預約時段，如仍有衝突請於當日下午5:00前再次進行預約，並於週四再次確認時段。
(3).如有任何疑問，請來電洽詢儀器管理人員
2.手套箱:
(1).本系統每週一早上8:00至下午5:00開放服務員
(2).每個預約時段為4小時(8:00~12:00與13:00~17:00)
(3).本系統每機台經考核後均可開放自行操作
(4).內部維護或技術發展與訓練則不接受預約，定期維修保養，將於一週前於預約系統行事曆公告，若為突發狀況則由管理員電話告知
(5).如有需保留放置元件，本單位提供真空載具，供傳輸至三號系統手套箱存放，本系統手套箱不提供暫放服務
(6).如有任何疑問，請來電洽詢儀器管理人員
相關罰則:
1.若因違反規定造成機台污染或損壞，所隸屬單位須負責賠償，賠償費用由原廠評估，再由本單位開會決議後執行並暫停機台之使用權
2.本實驗室有權經國科會同意更改開放辦法，以提供更好的實驗品質
收費標準:
1.金屬鍍料之收費含鍍料及鎢舟使用費，每次鍍料以蒸鍍100nm為限，如超過則另加次數收費(以蒸鍍機顯示厚度為主)
2.基板與鍍料如有特殊需求，請與管理者聯繫
3.使用時間未達4小時以4小時計算
4.pentacene與C60由本實驗室提供，以本單位採購價格計費
| 學術界 | 產業界 | |
| 委託操作(元/小時) | 600 | 1500 |
| 自行操作(元/小時) | 300 | 不開放 |
| 考核訓練(元/次) | 300 | 不開放 |
| 材料費(元/次) | Al=200 / Ca=500 / LiF=300 / MoO3=500 / Au=時價 / Ag=時價 / pentacene=時價 / C60=時價 | |