簡介

民國五十三年，交通大學在博愛校區成立全國第一個半導體研究實驗室，為我國發展半導體技術之濫觴。五十四年擴充實驗室規模並命名為半導體中心，同年製作出全國第一枚平面雙接面電晶體，造就博愛校區成為台灣半導體的啟蒙地。此後數十年交大在固態電子領域獨領風騷，為我國積體電路產業培養眾多的領導人與產業中堅。因應半導體技術與研發環境不斷精進，於民國九十二年起，更名為奈米中心。

奈米中心目前經營運作包括光復校區的固態電子系統大樓以及博愛校區的半導體中心兩棟建築，擁有近4000平方公尺潔淨室，是國內大專院校中規模最大，設施最完善的半導體研發基地。中心有專任行政人員四名與技術人員十九名、負責業務運作與機台設施維護。另有十位教授組成的儀器管理委員會，提供專業意見協助管理相關設備製程服務，並規劃新設備之採購。除春節以及例行維護日期外，中心設施每天24小時開放研究生與研究人員使用。中心服務平台提供完整的製程與分析環境，可進行奈米積體電路製程、新式奈米元件、記憶體、量子元件、光電元件、微/奈米機電、寬能矽半導體等重要技術的研究與開發。中心也支援其他學術單位與學校，並服務產業。每年有超過五百名碩博士班研究生在本中心進行研究工作。

任務與貢獻

中心的基本任務與功能為建立與管理運作半導體共同實驗室，提供我國此領域內教授、研究生及業界研究人員執行前瞻性研究，亦對校內外所有研究人員提供技術服務。中心運作已近半世紀，在早期主事者的推動與辛勤耕耘下，成果卓然有成，除了幫助提升臺灣整體的研發水準之外，更訓練出一批半導體業界的高科技人才與科技領袖，扮演我國積體電路產業成功發展的樞紐。民國54年製作我國第一顆電晶體，民國55年製作第一枚積體電路。民國74年至81年，接受國科會之委託，協助策劃籌建國家毫微米元件實驗室(現改稱國家奈米元件實驗室)，進行先進奈米元件之研究。凡此種種，說明本中心對於我國今日半導體科技的蓬勃興盛居功厥偉。

效率、彈性與節能

進入21世紀後，許多新興的應用研究，如有機元件、微機電、顯示器、生醫感測與奈米量子元件技術等，如雨後春筍般湧現。因應時局變化，中心規劃經費購置先進設備，並調整組織運作，簡化各項訓練與服務流程，期以更具效率與彈性的方式，提昇學校與我國奈米相關技術的研發動能。民國92年2月本中心正式更名為「奈米中心」，闡明其協助奈米相關技術開發的角色。為更有效運用有限的經費，近幾年來也致力於推動節能省碳的措施，如全面改善空調效能、調整設備操作規範、採用發光二極體照明等，各項工程於民國100年初陸續完工，用電量降低30%，年節省電費近新台幣一仟萬元。目前奈米中心共提供有近30項製程與分析設備開放服務，另外支援數十台由個別教授申請進駐的設備，從事各項前瞻領域的研究。未來奈米中心將致力提高行政服務效率，加強安全衛生防護，引進尖端研究設備，以建立親切、友善、安全的研究環境，做為交通大學邁向頂尖的後盾。

技術領域

目前中心的組織將技術支援與服務等相關業務，劃分由技術一組與二組負責 。技術一組主要職掌微影與蝕刻領域之製程與分析，技術二組則負責高溫與薄膜領域之製程與分析。各組設組長1人與組員若干人，專責技術開發、訓練 、機台維護與技術服務等工作項目。詳細機台規格與相關資訊，請詳見儀器設備簡介。